Binnen het Semiconductors domein wordt gewerkt aan de nieuwe generatie chips. Dit wordt verspreid over negen projecten:
Semicon 01: Process optimization for high TRL & high MRL PLD
Semicon 02: Next Generation High Tech System architectures
Semicon 03: NXTGEN chip assembly equipment
Semicon 04: (nano) Metrologie systemen
Semicon 05: Deposition and printing for heterogeneous assembly
Semicon 08: Metrologie Equipment voor Kritisch Opschalen van PIC Productie
Semicon 09: Productie Equipment voor high volume PIC Productie
Overzicht van onze projecten
Semicon 01
Process optimization for high TRL & high MRL PLD
Semicon01 focust op het ontwikkelen van een geavanceerde productietechnologie voor Radio Frequency (RF) componenten voor 5G/6G en basisstations. Het project heeft als doel om Pulsed Laser Deposition (PLD) machines te ontwikkelen die geschikt zijn voor hoogvolume-productie van geïntegreerde filters. Deze technologie moet conventionele depositiesystemen vervangen, de productie-efficiëntie en de prestaties van de componenten verbeteren. Het eindresultaat is een disruptieve technologie voor de productie van 5G/6G componenten, wat bijdraagt aan significante kostenreducties en de mogelijkheid biedt voor commerciële schaalbaarheid.
Dit project heeft als doel de ontwikkeling van nieuwe systeemarchitecturen voor high-tech apparatuur in de semiconductor industrie. Het is gericht op het verbeteren van de prestaties van apparatuur om te voldoen aan de eisen van industrie roadmaps en om de voortdurende verbetering van Moore's Law te ondersteunen. Door te investeren in innovatie van basistechnologieën, vooral op het gebied van mechatronica en systems engineering, wordt deze leidende rol behouden en verder uitgebreid. Dit project bevordert multi-disciplinaire kennisopbouw en integreert nieuwe ontwerpmethoden en materialen om toekomstige apparatuurprestaties te verbeteren.
Semicon 02
Next Generation High Tech System architectures
Semicon 03
NXTGEN chip assembly equipment
Het NXTGEN Chip Assembly Equipment project richt zich op het ontwikkelen van geavanceerde technologieën en processtromen voor de volgende generatie chipmontageapparatuur, die efficiënter, preciezer en goedkoper moet zijn. In Nederland, traditioneel sterk in de productie en assemblage van halfgeleiders, is er een urgente behoefte aan innovatie om aan de groeiende marktvraag te voldoen en de tekortkomingen van huidige systemen, zoals beperkte productiviteit en hoog energieverbruik, aan te pakken. Dit project beoogt een paradigmaverschuiving door het integreren van contactloze handling met nauwkeurig aangestuurde krachtvelden, wat een energie-efficiënte en volledig digitaal controleerbare chipassemblage mogelijk maakt.
Dit project richt zich op de ontwikkeling van geavanceerde metrologiesystemen om high-tech processen zoals de fabricage van geïntegreerde schakelingen en precisiediagnostiek van biologische weefsels te versnellen en te verbeteren. Er wordt gefocust op het integreren van systemen voor parallelle data-acquisitie, wat de verwerking en opslag van grote datastromen vereist. Dit project beoogt het automatiseren en optimaliseren van workflows in laboratoria en productieomgevingen om efficiëntie te verhogen. Kerngebieden zijn de ontwikkeling van snellere en nauwkeurigere metrologiesystemen, het creëren van geoptimaliseerde workflows en het verbeteren van data-analysetechnieken voor bruikbare inzichten uit complexe datasets.
Semicon 04
(nano) Metrologie systemen
Semicon 05
Deposition and printing for heterogeneous assembly
Semicon05 richt zich op het verbeteren van chip packaging technieken die cruciaal zijn voor het functioneren van chips in toepassingen zoals elektrische auto's en 5G-technologie. Door de toenemende complexiteit en functionaliteitseisen van chips voldoen traditionele assembly- en packagingmethoden niet altijd meer. Additive manufacturing, al meer gevorderd in sectoren zoals automotive en gezondheidszorg, biedt nu ook mogelijkheden voor de semiconductorindustrie. Het project zal zich concentreren op het oplossen van fundamentele problemen binnen de chip packaging industrie door het toepassen van deze geavanceerde additive manufacturing technologieën.
Binnen dit project worden twee machines ontwikkeld waarmee geïntegreerde fotonische chips getest kunnen worden. Het doel is om met het consortium wereldleider te worden voor visuele en prober test equipment van geïntegreerde fotonica. Hiervoor worden drie generaties machines ontwikkeld waarin fundamenteel onderzoek wordt omgezet tot werkende machines.
Semicon 08
Metrologie Equipment voor Kritisch Opschalen van PIC Productie
Semicon 09
Productie Equipment voor high volume PIC Productie
In Semicon09 wordt gewerkt aan het ontwikkelen van productieapparatuur voor geïntegreerde fotonica om de massaproductie van deze componenten en devices mogelijk te maken. Het project focust op het standaardiseren van zowel front-end als back-end productieprocessen voor het vervaardigen van wafers met Photonic Integrated Circuits. Het doel is om machines te ontwikkelen voor verschillende productfamilies, die gebruikmaken van standaard substraten zoals SiN en InP. Deze ontwikkelingen zijn cruciaal voor het assembleren van de componenten, waarbij verschillende koppelmethode zoals verticaal en horizontaal worden geïntegreerd. Het project beoogt ook nieuwe procesontwikkelingen in het front-end gedeelte voor eigenschappen zoals PZT en CVD.
In dit project wordt niet alleen gefocust op de technische ontwikkeling van geavanceerde apparaten, maar ook op een effectieve marktbenadering voor nieuwe klanten en waardeketens. Een belangrijk onderdeel van het project is het verbreden van het kennisniveau naar partijen buiten het huidige project. Deze kennisdeling en het bereiken van nieuwe klanten door het creëren van nieuwe control points in waardeketens zijn centrale thema's in werkpakket 10.